維修化合物半導體用快速退火爐時需要注意哪些？

　　化合物半導體用快速退火爐采用碘鎢燈管作為加熱元件，加熱速度極快，采用S型熱電偶測溫，采用模糊PID控制，溫度控制精度高。那么我們在維修時應該注意什么呢？
 

　　1、長期使用或不使用爐子后，120℃烘烤1小時，300℃烘烤2小時，以免爐內開裂。爐溫不應超過額定溫度，以免損壞加熱元件和爐襯。嚴禁將各種液體和溶解金屬直接倒入爐內，保持爐內清潔。

　　2、如果化合物半導體用快速退火爐爐內使用石英管，當溫度高于1000℃時，石英管的高溫部分會出現不透明。這稱為脫玻，是連續熔融石英管的固有缺陷，這是正?，F象。

　　3、使用冷爐時，由于爐子是冷的，需要吸收大量的熱量，所以低溫段的升溫速度不易過快，各溫度段不易相差太大。設定升溫速度時應充分考慮燒結材料的物理化學性質，以免出現噴濺污染爐管的現象。

　　4、定期檢查溫控系統的電氣連接部分是否接觸良好，特別要注意加熱元件各連接點的連接是否緊密。

　　5、爐子使用一段時間后，如果真空度下降，可以更換不銹鋼法蘭之間的耐溫硅膠圈或重新安裝不銹鋼法蘭或真空系統進行修復以提高系統的整體真空度。

　　6、爐子工作時，一般在300℃左右。若控制偏差無法消除，則為溫度顯示值與程序設定值不符或擺動過大。檢查參數“M5、P、t”是否設置正確。

　　7、化合物半導體用快速退火爐適用于以下工況：

　?。?）環境溫度在-10~75℃之間。

　?。?）周圍環境相對濕度不超過85%。

　?。?）爐膛周圍無可嚴重損壞金屬和絕緣材料的導電粉塵、爆炸性氣體或腐蝕性氣體。

　?。?）無明顯傾斜、振動或顛簸。